关于溅射时偏压对薄膜的影响

　　关于溅射时偏压对薄膜的影响。请教 磁控溅射镀膜时 加了偏压 对薄膜会有哪些影响呢？怎样表征这些影响？文中提到了偏压 结果不知道怎样表征被审稿人了 跪求有经验人士支招
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